氮氣柜是利用高純度氮氣來保護易氧化樣品,防止其氧化。如半導體行業使用的Wafer晶圓就需要放置在氮氣柜中存儲,為了防止晶圓被環境污染,需要在潔凈的無塵室內存儲和操作,這就需要搭配使用SUS304雙鏡面不銹鋼材質氮氣柜。

三清儀器不銹鋼氮氣柜使用優質SUS304雙鏡面工藝不銹鋼,自身不產塵,潔凈等級高。使用進口氮氣控制模組,可根據用戶自主設置的濕度值來自動打開和切斷氮氣供應,節約氮氣的消耗,減低成本。氮氣微循環系統可讓氮氣柜內氮氣分布均勻,減壓氣流極小的沖擊力不會破壞或移動樣品。不銹鋼氮氣柜內置的隔板可自由上下移動,方便放置不同尺寸的樣品。也可以按照客戶的需求訂制,如放置12寸CASSETE,可選擇12盒,20盒或其他數量的。

三清儀器不銹鋼氮氣柜推薦使用99.99%純度以上的氮氣,進氣壓力推薦設置為0.2 – 0.4MPA??纱钆渎暪鈭缶到y(可延時),USB溫濕度信息傳輸系統,RS485通信接口??蓪崿F顯示誤差自我調節功能等。更能為了防止斷電,停電氮氣會切斷不能更好的保護樣品,三清儀器不銹鋼氮氣柜可實現斷電后自動打開氮氣供應功能,更好的保護樣品。

產品容積 內徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調節 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節氮模組 多點供氣系統,SMC節氮模組

氮氣柜